车规模块系列(五):聊一聊DBB铜绑定技术

来源:斯诺克录像回放    发布时间:2024-02-01 09:11:58

  相比于之前的标准化模块封装,近年来各具特色的模块封装类型都慢慢映入眼帘,就好比之前我们聊到的M、HPD和TPAK等等。并且其中细节部分也有着不一样的改进,如DBB技术、Cu-Clip技术、激光焊接、SKiN、单/双面水冷、银烧结、铜烧结等等,无疑给模块封装技术增添了更多组合的可能,以应对不同的性价比和应用。

  今天我们就来聊聊铜绑定,以一篇丹佛斯硅动力的一篇论文来看看这个工艺的特点。

  相对于传统的铝绑定线工艺,铜绑定线需要对芯片表明上进行要求更高的金属化,而丹佛斯键合缓冲Danfoss Bond Buffer (DBB)技术就为了铜绑定线进行的表面处理。

  在模块生产制作的完整过程中,在芯片顶部额外地烧结一层铜层,防止芯片在超声波焊接过程中开裂,提供了所需的机械粘接缓冲作用。芯片的顶部的铜层适合键合直径可达500um的铜线,同时,芯片的底部被烧结到DBC上,铜绑定和烧结技术的结合显著地提高可靠性以及功率密度。

  DBB技术是为减少CTE不匹配带来的热机械应力,除了在键合过程中吸收能量以及保护芯片,其还具有一定的热学优势。

  芯片烧结到DBC和芯片表面的DBB能够正常的使用同一台烧结设备和工艺。下面是一个DBB技术模块的局部示意图,

  上图中,DBC衬底和DBB铜层都有一层NiAu表面,以达到更好的延展性。

  DBB中的铜层形成了一个热容量,对于模块的Zth有着一定的影响,但不会增加其热阻Rth。其大面积的铜层,以及铜层的厚度比普通的Al顶层要厚得多,导致了更好的电流扩散,提供了更为均匀的电流密度分布。

  PaneA中,在1ms处单纯Al线和缓冲层加Cu线K/W主要是由于铜线具有较高的热导率;PaneB中,纯Al线和缓冲层加Al线K/W是由于缓冲层厚度较高引起的。

  为了评估Si芯片和DBB铜层之间的银烧结层内的应力,采Suhir的轴对称模型,计算出了层状材料(顶层和底层)的弹性弯曲应力分布和连接层中的应力,即剪切应力。轴向对称近似矩形,其半径由边长的一半或者对角线来定义,或者利用等面积的方法。Suhir表明,大面积的剪切应力只存在于一定的外围区域,如下图中的曲线“剪切DBB/Chip”所示,在一定横向尺寸内保持不变。

  不同芯片厚度下,DBB烧结层的剪切应力与厚度成正相关,相同面积下,SiC大于Si。

  不同芯片厚度下,芯片到DBC的烧结层剪切应力。能够准确的看出芯片越薄,烧结层中的应力越低。

  不同DBB铜层厚度下,芯片到DBC的烧结层的剪切应力。能够准确的看出,DBB越厚,芯片到DBC的烧结层剪切应力越小,但需要结合第一个柱状图,DBB越厚,DBB烧结层的剪切应力越大。这两种需要进行一定的权衡。

  可以看出,烧结层都没有变化迹象,而DBC的铜层明显有损伤,此时DBC的可靠性成了木桶效应的短板。

  进行,分别有DBB技术和传统的铝绑定线加焊接(ST)的样品,测试条件如下,

  今天以DBB技术为基础,大致聊了一下铜绑定线带来的一些优势,当然归根结底还是为了更高的功率密度和可靠性。但功率半导体没有一个过程是固定不变的,都是在反反复复的折中过程中寻找着属于自身个人的最优解,DBB技术是一种,那相信其他家的铜绑定或者Cu-Clip都有属于自己模块的最优解。

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